在一定溫度下，低純度氮氣中的殘氧與碳載催化劑提供的碳發生氧化反應；C﹢O2=CO2生成的CO2經變壓吸附工藝去除及深度脫水，得到高純度氮氣。

膜分離製氮技術是根據空氣中的氮氣和氧氣在膜兩側壓差作用下，在膜中的溶解度和擴散係數不同，滲透率快的水蒸氣、氧氣等一些氣體先滲透過膜，成為富氧氣體，而滲透率較慢的氮氣則滯流富集，成為幹燥的富氮氣體，達到氧氮氣分離的目的。

原氫經氫進口閥，質量流量控製器調節加入氮氣中，混合氣經混合罐混合，混合後的混合氣經氫分儀分析，顯示出氫的百分比含量，氫分儀把氫的百分比含量轉換成4－20mA的電流信號，智能顯示調節儀把氫分儀的電流型號與設定值相比較計算，計算結果轉換成4－20mA的電流信號驅動質量流量控製器，從而達到調節氣體混合比例的功能。穩點的混合氣通過工作出口閥送到使用地點。用氣設備的流量變化時，調節質量流量控製器，改變氫氣流量，是混合氣的流量隨之改變。保證混合氣的壓力在一定範圍內。自動化混合配氣裝置，廣泛應用在電子行業，電光源，科研部門，等需要精確控製混合氣比例的行業。